真空管式退火爐主要由加熱爐體、不銹鋼馬弗罐、傳送鋼帶及傳送機構等組成；保護氣采用液氨制氫，及純化裝置，以液氨為原料，在催化劑的作用下，加熱分解得到含氫75%，含氮25%的氫、氮混合氣體。氣體純化器，與氨分解爐配套使用，可清除混合氣體中的，殘余氨和水份。
用于不銹鋼絲、管光亮退火和固溶化處理以及用于碳纖維等非金屬材料的加熱處理、碳化活化處理.同時特別適宜不銹鋼毛細管光亮退火和固溶化處理,能使其內外壁都保持光亮。由加熱爐、冷卻段、收卷機構以及電控系統組成,加熱爐為馬弗管式,管數為單管或多管。視爐子長短可采取三段或多段控溫方式。冷卻器通常為水冷套式結構,也可以設計成噴吹快冷形式。
真空管式退火爐的設備優勢：
高速加熱與冷卻方式
高能量的紅外燈和鍍金反射方式允許高速加熱到高溫。同時爐體可配置水冷系統，增設氣體冷卻裝置，可實現快速冷卻。
溫度高精度控制
過紅外鍍金聚焦爐和溫度控制器的組合使用，可以控制樣品的溫度。此外，冷卻速度和保持在任何溫度下可提供高精度。
不同環境下的加熱與冷卻
加熱/冷卻可用真空、氣氛環境、低溫（高純度惰性氣體靜態或流動），操作簡單，使用石英玻璃制成。紅外線可傳送到加熱/冷卻室。
